Rasterelektronenmikroskop inkl. FIB – Zeiss Crossbeam 1540

Focused Ion Beam Crossbeam der Firma Zeiss

• Cross Beam 1540Esb FIB Workstation mit, In Lens-, SE-, ESB-, QBSD-Detektor
• Feldemissionselektronenquelle
• Oxford INCA Energy 350 EDX
• HKL System mit vier Dioden Forescatter Detektor
• Gas Injektionssystem (Platin-, Wolframabscheidungen; Ätzgase (Fluor)
• Kleindiek Mikromanipulator für in-situ Entnahme von Lift-out Lamellen
• MEMS Kraftsensor zur Durchführung mikromechanischer Experimente

Das Zeiss Crossbeam 1540 Gerät besitzt neben einer Feldemissionselektronenquelle eine Ga-Ionenkanone mit der ein gezielter Materialabtrag möglich ist. Durch diesen Schneidprozess mit Ionen ist es möglich gezielt Querschnitte zu präparieren und diese mit dem Rasterelektronenmikroskop und verschiedenen analytischen Methoden (z.B. EDX, EBSD) genau zu untersuchen und zu charakterisieren. Schadensfälle und mikrostrukturelle Veränderungen können somit gezielt untersucht werden. Desweiteren kann mit diesem Gerät eine Zielpräparation von Proben für die Untersuchungen im Transmissionselektronenmikroskop (TEM) erfolgen. Durch die in-situ Lift out Methode mit Hilfe von Mikromanipulatoren können von genau definierten Bereichen Proben für das TEM entnommen und mit Hilfe von kleinen Ionenströmen entsprechend bis zur Durchstrahlbarkeit präpariert werden.

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